无油真空系统的探讨

在具有腐蚀和清洁的环境下，广泛使用油旋转泵存在某些缺点。在腐蚀环境中的各 种应用，腐蚀性蒸汽或磨损粒子会污染泵的润滑剂，缩短了泵的使用寿命，而在清洁环 境中的应用，润滑剂又反过来污染真空工艺过程。为了克服这些问题，开发了无油真空 系统。 本文对爪型泵同罗茨泵和叶片泵进行比较，表明爪型泵是无油系统的理想抽气设备。