| 基于波长移相干涉的台阶测量技术 |
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| 引用本文： | 于瀛洁,孙流星. 基于波长移相干涉的台阶测量技术[J]. 测试技术学报, 2005, 19(2): 157-161 |
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| 作者姓名： | 于瀛洁 孙流星 |
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| 作者单位： | 上海大学,精密机械工程系,上海,200072 |
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| 基金项目： | 上海市科委重点项目资助（项目编号：021411056） |
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| 摘 要： | 概括了波长移相干涉技术的特点，将基于波长移相干涉技术的台阶测量算法分成两类：时域算法和频域算法。时域算法包括开瑞（Carre）算法和多波长组合算法等，频域算法包括基于时域傅立叶变换找基频算法、塔可达（Takeda）算法等，文中分析了这些算法在实际应用中需要考虑的技术问题，针对时频域算法特点，提出了基于时域傅立叶变换的差分算法，实验结果与分析证明这一算法的正确性和可行性。
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| 关 键 词： | 干涉技术 波长移相 台阶测量 时域处理算法 频域处理算法 |
| 文章编号： | 1671-7449（2005）02-0157-05 |
| 收稿时间： | 2004-10-25 |
| 修稿时间： | 2004-10-25 |
Step Height Measurement on Wavelength Phase-Shifting Interferometr |
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| YU Ying-jie,SUN Liu-xing. Step Height Measurement on Wavelength Phase-Shifting Interferometr[J]. Journal of Test and Measurement Techol, 2005, 19(2): 157-161 |
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| Authors: | YU Ying-jie SUN Liu-xing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | interferometry wavelength phase-shifting step height measurement temporal domain algorithm frequency domain algorithm |
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