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| 高效平面全息衍射光栅的获取方法 | |
| 作者姓名： | 赵博 齐向东 |
| 作者单位： | 1.中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春,中国,130033;2.北京大学遥感与地理信息系统研究所 北京,100871 |
| 摘 要： | 从全息衍射光栅的制作原理出发,介绍了全息光栅的主要制作方法,并与刻划光栅对比分析了全息衍射光栅的诸多优点。通过利用光栅设计的耦合波理论对全息衍射光栅槽型、槽深及槽间距等进行了优化设计,同时利用离子束刻蚀技术获得了高效率全息光栅。文中全面分析了制作高效率平面全息光栅的各项关键技术。 |
| 关 键 词： | 全息光栅 离子刻蚀 衍射效率 |
| 文章编号： | 1004-924X(2001)02-0109-06 |
| 收稿时间： | 2000-08-21 |
| 修稿时间： | 2000-08-21 |
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