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| 适合集成电路生产的SIMOX SOI | |
| 引用本文： | Hon Wai Lam ,倪沛然.适合集成电路生产的SIMOX SOI[J].微电子学,1989(5). |
| 作者姓名： | Hon Wai Lam 倪沛然 |
| 摘 要： | 由于SIMOX SOI(氧离子注入隔离绝缘体上硅膜材料)能很好地满足当今的集成电路要求,并能同传统的集成电路制造兼容,它越来越广泛地用于集成电路(IC)的生产。本文介绍SIMOX的这些特性及其当前的应用。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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