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一种压阻式三轴高g值加速度传感器的冲击校准
引用本文:景鹏,马铁华,王燕. 一种压阻式三轴高g值加速度传感器的冲击校准[J]. 传感技术学报, 2008, 21(6): 954-958
作者姓名:景鹏  马铁华  王燕
作者单位:中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原,030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原,030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原,030051
摘    要:介绍了基于Hopkinson杆技术的激光光栅干涉法这种冲击加速度计的绝对校准方法,给出了加速度传感器灵敏度系数的两种标定公式。使用Hopkinson杆在约12000gn的加速度水平下应用上述校准方法对一种三轴压阻式高冲击微型加速度传感器的灵敏度进行了冲击校准。通过对校准结果的分析比较了两种灵敏度标定公式的优缺点,并对传感器的横向响应作了讨论。

关 键 词:高g值加速度传感器  Hopkinson杆  校准  标定公式  横向响应
文章编号:1004-1699(2008)06-0954-05
修稿时间:2007-09-23

Shock Calibration of a Piezoresistive Three-Axis High-g Microaccelerometer
JingPeng WangYan,MaTiehua. Shock Calibration of a Piezoresistive Three-Axis High-g Microaccelerometer[J]. Journal of Transduction Technology, 2008, 21(6): 954-958
Authors:JingPeng WangYan  MaTiehua
Abstract:This paper presents a absolute method for calibrating shock accelerometers.Laser-grating interferometry method based on Hopkinson bar techniques,and two calculating formula of the accelerometer sensitivity was developed.Using Hopkinson bar at about 12000 gn of the acceleration level applying the method to calibrate sensitivity of a piezoresistive three-Axis high-g microaccelerometer.Through the calibration results of the analysis and comparison of the two of the advantages and disadvantages of sensitivity calibration formula,and the transverse effect of accelerometer was discussed.
Keywords:high-g microaccelerometer  hopkinson bar  calibration  calibration formula  transverse effect
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