| 全聚合物SU8光波导制备工艺及其特性研究 |
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| 引用本文： | 孔光明,鄂书林,邓文渊,赵虎旦,郭洪波.全聚合物SU8光波导制备工艺及其特性研究[J].半导体光电,2008,29(5). |
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| 作者姓名： | 孔光明 鄂书林 邓文渊 赵虎旦 郭洪波 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130033;中国科学院研究生院,北京,100049;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130033 |
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| 基金项目： | 吉林省科技厅科研项目，国家重点实验室基金 |
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| 摘 要： | 对一种全聚合物SU8光波导的制备工艺和波导特性进行了研究.测试结果显示,所制备光波导在1 550 nm的传输损耗为2.01 dB/cm,且具有高的侧壁陡直度.详细研究了光波导制备工艺过程中前烘温度和时间、光刻时间、后烘温度和时间以及显影时间等工艺参数对波导质量的影响,给出了4.5 μm×4.0 μm尺寸单模波导制备的优化工艺.讨论了采用稀释后的SU8材料所制备的光波导出现侧蚀的原因以及改进的方法.
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| 关 键 词： | 聚合物 SU8光波导 光刻 工艺参数 |
Study on Fabrication Process and Characteristics of Full Polymer SU8 Optical Wave guide |
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| KONG Guang-ming,E Shu-lin,DENG Wen-yuan,ZHAO Hu-dan,GUO Hong-bo.Study on Fabrication Process and Characteristics of Full Polymer SU8 Optical Wave guide[J].Semiconductor Optoelectronics,2008,29(5). |
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| Authors: | KONG Guang-ming E Shu-lin DENG Wen-yuan ZHAO Hu-dan GUO Hong-bo |
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