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| 关于微硅机械加速度计表头设计的几个问题 | |
| 引用本文： | 刘云峰,董景新,曹志锦.关于微硅机械加速度计表头设计的几个问题[J].测控技术,2002,21(12):7-10. |
| 作者姓名： | 刘云峰 董景新 曹志锦 |
| 作者单位： | 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084 |
| 摘 要： | 由于负刚度等特殊问题，使叉齿式微硅机械加速度计的闭环控制区别于常规闭环系统，并且负刚度较大地影响微加速度计工作稳定性，为此对加速度计的表头结构设计方法及理论公式进行了研究，推导出了在给定性能参数下，设计加速度计表头最小分辨率，最大量程的方法和理论计算公式，根据上述方法设计能更好地保证加速度计的工作稳定性。 |
| 关 键 词： | 微硅机械加速度计 表头设计 分辨率 量程 稳定性 |
| 文章编号： | 1000-8829(2002)12-0007-04 |
Special Problems About Design of a Micromechanical Accelerometer |
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