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聚合物半导体PAn表面场效应管
作者姓名:袁仁宽  杨树成  袁宏  江若莲  郑有炓  钱辉作  桂德成
作者单位:南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系,南京电子器件研究所,南京电子器件研究所 南京 210008,南京 210008,南京 210008,南京 210008,南京 210008,南京 210016,南京 210016
摘    要:本文报道了采用特殊的器件和工艺设计研制的聚合物半导体(PAn)表面场效应晶体管。其中,PAn膜为半导体层;两个相距20微米的金电极作源、漏;硅片为栅;热氧化二氧化硅膜做绝缘层。本文对PAn表面场效应晶体管的特性进行了测试和分析。

关 键 词:聚合物半导体 场效应晶体管 表面场
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