聚合物半导体PAn表面场效应管 |
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作者姓名: | 袁仁宽 杨树成 袁宏 江若莲 郑有炓 钱辉作 桂德成 |
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作者单位: | 南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系,南京电子器件研究所,南京电子器件研究所 南京 210008,南京 210008,南京 210008,南京 210008,南京 210008,南京 210016,南京 210016 |
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摘 要: | 本文报道了采用特殊的器件和工艺设计研制的聚合物半导体(PAn)表面场效应晶体管。其中,PAn膜为半导体层;两个相距20微米的金电极作源、漏;硅片为栅;热氧化二氧化硅膜做绝缘层。本文对PAn表面场效应晶体管的特性进行了测试和分析。
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关 键 词: | 聚合物半导体 场效应晶体管 表面场 |
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