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| QuartusⅡ6．0工具应对高密度设计难题 | |
| 摘 要： | Akustica公司的设计师们称：AKU2000是首款CMOS MEMS直接数字输出、单芯片传声器。该公司从卡内基梅隆大学获得了该技术的使用许可(它相信此项技术得到了全面的专利保护),使其能够采用标准CMOS工艺的金属化层来制作MEMS,以形成构成传声器的传感元件的隔膜。由于该技 |
| 关 键 词： | 电容传声器 MEMS 输出功能 CMOS工艺 器具 输出放大器 单芯片 数字输出 专利保护 |
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