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| 用分割靶法制备Y_（1－x）Ho_xBa_2Cu_3O_（7－δ）超导薄膜 | |
| 作者姓名： | 彭正顺 杨秉川 王小平 石东奇 华志强 赵忠贤 |
| 作者单位： | 北京有色金属研究总院，中国科学院物理研究所 |
| 摘 要： | 本文利用直流磁控溅射技术，在（１００）钇稳定的ＺｒＯ２基片上制备出ｃ轴取向很好的Ｙ１－ｘＨＯｘＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ（０＜ｘ≤１）超导薄膜。实验中所用的靶材由ＹＢＣＯ和ＨＢＣＯ超导材料各一半组成。随着ＨＢＣＯ靶材到加热器距离的变化，钬的含量发生变化，当ｘ＝０．７（原子比），零电阻温度Ｔ∞＞８３Ｋ。 |
| 关 键 词： | Y_（1－x）HO_xBa_2Cu_3O_（7－δ），超导体，薄膜，直流磁控溅射，高临界温度 |
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