SiO2/CeF3复合薄膜的电致发光 |
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引用本文: | 李贝贝,王小平,王丽军,包建.SiO2/CeF3复合薄膜的电致发光[J].材料科学与工程学报,2022(6):956-960+968. |
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作者姓名: | 李贝贝 王小平 王丽军 包建 |
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作者单位: | 上海理工大学理学院 |
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基金项目: | 上海市教委重点创新资助项目(14ZZ137); |
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摘 要: | 采用真空电子束蒸发气相沉积技术在重掺杂n型硅衬底上制备了SiO2/CeF3复合薄膜电致发光器件。对器件中各膜层的微观结构和成分进行了表征,并研究了器件的电致发光特性。结果表明:器件在正反接时的电致发光光谱存在明显差异,相应的伏安特性曲线不对称。器件正接时,电致发光光谱在504 nm(绿光区)处和680 nm(红光区)处各出现一个发光峰;反接时,电致发光光谱除了在684 nm(红光区)处出现一个较弱的发光峰外,在434 nm处还出现了一个很强的蓝色发光峰。
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关 键 词: | 电致发光 氟化铈 二氧化硅 电子束气相沉积 |
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