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| 原位封装MEMS低温温度 感器 | |
| 作者姓名： | 黎云 尤敏敏 林祖德 刘景全 |
| 摘 要： | 针对高精度低温温度测量需求,提出一种基于氮氧化锆薄膜的微机电系统(MEMS)低温温度传感器.通过微加工工艺,将传感器制备与封装相结合,有效简化传统低温温度传感器的制备流程,缩小低温温度传感器尺寸.研制的低温温度传感器尺寸仅为3.2 mm ×2.0mm×0.73 mm,质量低于12 mg.通过颗粒碰撞噪声检测和显微结构观... |
| 关 键 词： | 低温温度传感器 封装 微机电系统(MEMS) |
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