非晶硅摄象管

辉光放电等离子体沉积a-Si∶H膜已被用作光导型摄象管的光电导靶,并对其工作特性作了研究。结果表明:和一般的Sb_2S_3管比较,该管具有优良的特性。由于是“单室”靶结构,这种光电导管的制作程序相当简单。在大气中200℃以下a-Si∶H膜是稳定的,因而材料本身就决定了它适于作低成本、高性能器件。该管特别适用于x射线成象。为增加效率,非晶硅层可制备在硅窗口上,或用标准方式和输入侧荧光屏耦合。此材料也可用来制作EBIC(电子轰击感应电导)型管子,此时用a-Si∶H替换二极管阵列。使硅网络中结合C和Ge来控制其掺杂特性,可变更带隙,从而分别扩展了蓝光和红光响应。同样,此材料可掺P或B来获得p-i-n结构靶,制成功和氧化铅管相似的的摄象管。