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| 基于VO_2薄膜非致冷红外探测器性能研究 | |
| 引用本文： | 陈长虹,易新建,张静,熊笔峰.基于VO_2薄膜非致冷红外探测器性能研究[J].红外与毫米波学报,2001(2). |
| 作者姓名： | 陈长虹 易新建 张静 熊笔峰 |
| 作者单位： | 华中科技大学光电工程系!湖北，武汉，430074，华中科技大学光电工程系!湖北，武汉，430074，华中科技大学光电工程系!湖北，武汉，430074，华中科技大学光电工程系!湖北，武汉，430074 |
| 基金项目： | 国家高技术863基金!资助项目&& |
| 摘 要： | 用微电子工艺制备了 V O2 溅射薄膜红外探测器 ,在 2 96 K的环境温度中测试了该探测器对 8- 12 μm红外辐射的黑体响应率和噪声电压 ,结果显示该探测器在调制频率为 30 Hz时可以实现探测率 D*=1.89× 10 8cm H z1 /2W- 1 ,热时间常数 τ=0 .0 11s的非致冷红外探测 |
| 关 键 词： | 测辐射热探测器 红外 二氧化钒 探测率 响应率 |
CHARACTERIZATION OF UNCOOLED VO_2-BASED THIN FILMS BOLOMETER |
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| CHEN Chang Hong YI Xin Jian,ZHANG Jing XIONG Bi Feng.CHARACTERIZATION OF UNCOOLED VO_2-BASED THIN FILMS BOLOMETER[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2001(2). | |
| Authors: | CHEN Chang Hong YI Xin Jian ZHANG Jing XIONG Bi Feng |
| Abstract: | |
| Keywords: | bolometer infrared vanadium dioxide detectivity responsivity |
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