| 基于科氏加速度的微陀螺 |
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| 引用本文： | 刘凯,张卫平,陈文元,李凯,肖奇军,马高印. 基于科氏加速度的微陀螺[J]. 压电与声光, 2010, 32(3) |
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| 作者姓名： | 刘凯 张卫平 陈文元 李凯 肖奇军 马高印 |
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| 作者单位： | 上海交通大学,微纳科学技术研究院,薄膜与微细加工教育部重点实验室微米/纳米加工国防实验室,上海,200030 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，国防预研基金资助项目，2007年上海市人才发展基金资助项目 |
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| 摘 要： | 首先介绍了科氏加速度产生基本原理和评价微陀螺的性能指标,然后主要从结构、工作原理、工艺、性能等方面对基于科氏加速度的一些典型微陀螺进行了分析和比较,同时对基于科氏加速度的微陀螺做出了评价,最后结合目前的研究探讨了基于科氏加速度的微陀螺的发展趋势.
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| 关 键 词： | 微陀螺 科氏加速度 综述 趋势 |
A Review of Micro-gyroscope Based on Coriolis Acceleration |
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| LIU Kai,ZHANG Weiping,CHEN Wenyuan,LI Kai,XIAO Qijun,MA Gaoyin. A Review of Micro-gyroscope Based on Coriolis Acceleration[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2010, 32(3) |
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| Authors: | LIU Kai ZHANG Weiping CHEN Wenyuan LI Kai XIAO Qijun MA Gaoyin |
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