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| 大流量压阻式流量传感器的研制 | |
| 引用本文： | 王小保,钱劲,张大成. 大流量压阻式流量传感器的研制[J]. 微纳电子技术, 2003, 40(7): 449-451 |
| 作者姓名： | 王小保 钱劲 张大成 |
| 作者单位： | 1. 北京大学微电子学研究院,北京,100871 2. 中国科学院力学所,北京,100871 |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展规划项目(TG1999033108) |
| 摘 要： | 根据流体力学差压原理，采用硅微机械加工手段设计制作了微挡板结构的压阻式流量传感器。测试结果表明，该传感器具有测量0．1～10L／min的气体流量的能力。 |
| 关 键 词： | 压阻式流量传感器 硅微机械加工 微挡板结构 流体力学 压敏电阻 差压 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0449-03 |
| 修稿时间： | 2003-05-15 |
Research on a piezoresistive mass flow sensor |
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