Innova高精度尺寸光学测量机

Micro—Metric公司开发的Innova光学测量系统可用于半导体、光电器件和微机电系统（MEMS）装置等微小尺寸的点到点（PTP）和视场（FOV）非接触式测量。视场测量的最小尺寸为0．5μm，测量精度可达0．010μm（10nm）；除可手动进行单点测量外，还可通过编程进行全自动逐点顺序测量。