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电极的脉冲电子束处理对真空击穿的影响
作者姓名:
欧阳彬
摘 要:
本文提出了一种用微秒低能强度电子束对电极进行了预处理的方法。它表明,这种电子束能使电极表面熔化并除去表面层的杂质和气体。接着,对真空间隙进行小电流脉冲放电老炼处理,即可获得较高的击穿电场强度。
关 键 词:
电极 脉冲电子束处理 真空击穿
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