Al—Cl—N—H体系化学气相淀积AIN粉末的热力学研究期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

Al—Cl—N—H体系化学气相淀积AIN粉末的热力学研究

作者姓名：	李春忠胡黎明

摘要：
关键词：	氮化铝化学气相淀积
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