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高纯气体输送系统的设计施工及管理

作者姓名：	历福斌

摘要：	高纯气体的输送系统应该包括制造厂的充灌装置,贮存容器(钢瓶或贮槽),运输槽车,直到使用单位贮存设备、传输管道系统直到炉前管路,亦即凡与高纯气体相接触的一切设备、管路、仪表、阀门等。因为高纯气体
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