| 基于聚合物绝缘栅的低电压有机薄膜晶体管 |
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| 引用本文： | 刘雪强,毕卫红,张彤. 基于聚合物绝缘栅的低电压有机薄膜晶体管[J]. 半导体学报, 2010, 31(12): 124007-3 |
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| 作者姓名： | 刘雪强 毕卫红 张彤 |
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| 摘 要： | 利用甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸环氧丙脂为栅绝缘层制备了酞箐铜有机薄膜晶体管，在电压为10V时器件具有较好的性能，栅绝缘层的漏电流密度低至2×10-8A/cm2 。测量其电容特性，该绝缘薄膜的介电常数介于3.9-5.0 。通过对绝缘层的减薄，阈值电压由 -3.5V 升至-2.0V，该酞箐铜有机薄膜晶体管可以在低电压下工作，其场效应迁移率为1.2×10-3 cm2/Vs 。
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| 关 键 词： | 有机薄膜晶体管 铜酞菁 有机聚合物 聚甲基丙烯酸甲酯 低压 绝缘层 薄膜电晶体 电源电压 |
| 收稿时间： | 2010-04-29 |
| 修稿时间： | 2010-07-19 |
Low voltage copper phthalocyanine organic thin film transistors with a polymer layer as the gate insulator |
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| Liu Xueqiang,Bi Weihong and Zhang Tong. Low voltage copper phthalocyanine organic thin film transistors with a polymer layer as the gate insulator[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2010, 31(12): 124007-3 |
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| Authors: | Liu Xueqiang Bi Weihong Zhang Tong |
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| Affiliation: | College of Information Science and Engineering, Yanshan University, Qinhuangdao 066004, China;College of Information Science and Engineering, Yanshan University, Qinhuangdao 066004, China;State Key Laboratory of Integrated Optoelectronics, College of Electronic Science and Engineering, Jilin University, Changchun 130012, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | low voltage OTFT organic dielectric low threshold voltage |
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