| 精密定位装置光栅倾斜时的定位精度 |
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| 引用本文： | 周礼中,谢勇,古桥秀夫,内田悦行.精密定位装置光栅倾斜时的定位精度[J].传感器与微系统,2004,23(9):67-68,73. |
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| 作者姓名： | 周礼中 谢勇 古桥秀夫 内田悦行 |
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| 作者单位： | 1. 扬州大学 信息工程学院,江苏 扬州 225009
2. 日本爱知工业大学 情报工学科,爱知县 丰田 470-0392 日本 |
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| 基金项目： | 江苏省留学回国人员科研项目 |
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| 摘 要： | 介绍了激光莫尔信号精密定位装置中光栅倾斜时莫尔信号的位移特性,给出了光栅倾斜时差动式和修正式精密定位方法、定位精度的计算机仿真计算结果,说明了装置中光栅设定的角度倾斜如何影响精密定位装置的定位精度。
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| 关 键 词： | 定位精度 激光莫尔信号 光栅倾斜 精密定位 |
| 文章编号： | 1000-9787(2004)09-0067-02 |
Alignment accuracy of grating inclination for precision alignment systems |
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| ZHOU Li-zhong,XIE Yong,FURUHASHI Hideo,UCHIDA Yoshiyuki.Alignment accuracy of grating inclination for precision alignment systems[J].Transducer and Microsystem Technology,2004,23(9):67-68,73. |
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| Authors: | ZHOU Li-zhong XIE Yong FURUHASHI Hideo UCHIDA Yoshiyuki |
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| Affiliation: | ZHOU Li-zhong1,XIE Yong1,FURUHASHI Hideo2,UCHIDA Yoshiyuki2 |
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| Abstract: | Displacement characteristics of laser moire signals of the grating inclination for moire precision alignment systems are introduced.The alignment method and the calculated result of the alignment accuracy for differential moire system and modified moire system using computer simulation are given,and how the alignment accuracy of precision alignment system affected by the inclination of gratings is explained. |
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| Keywords: | laser moire signals grating inclination precision positioning alignment accuracy |
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