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| 重氮萘醌系正性抗蚀剂“增感”的进展 | |
| 作者单位： | 北京师范大学化学系 |
| 摘 要： | 重氮萘醌系正性抗蚀剂“增感”的进展余尚先＊顾江楠童晓方慧聪（北京师范大学化学系，北京１００８７５）关键词重氮萘醌，正性抗蚀剂，多酚化合物，高感度，Ｍ／Ａ值控制规律近年来有关重氮萘醌系正性抗蚀剂提高感度的研究文献综述均对应用较为成功的多酚化合物作了较为... |
| 关 键 词： | 重氮萘醌，正性抗蚀剂，多酚化合物，高感度，M／A值控制规律 |
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