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TiO2-SiO2系统凝胶玻璃薄膜折射率的研究
引用本文:樊先平,郝霄鹏,姚华文,王民权. TiO2-SiO2系统凝胶玻璃薄膜折射率的研究[J]. 功能材料, 2002, 33(2): 215-217
作者姓名:樊先平  郝霄鹏  姚华文  王民权
作者单位:1. 浙江大学材料科学与工程学系,浙江,杭州,310027浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027
2. 浙江大学材料科学与工程学系,浙江,杭州,310027
基金项目:国家自然科学基金资助项目(50072024和69890230)
摘    要:应用光度法研究了溶胶-凝胶系统组成、热处理温度对iO2-SiO2系统凝胶玻璃薄膜折射率的影响规律。随薄膜中TiO2含量的增加以及热处理温度的升高,薄膜的折射率逐渐增大。通过调整TiO2-SiO2系统的组成及适当的热处理温度,可实现TiO2-SiO2系统薄膜折射率在1.5-2.4之间的连续变化。

关 键 词:溶胶-凝胶 折射率 TiO2-SiO2薄膜 平面光波导
文章编号:1001-9731(2002)02-0215-03
修稿时间:2001-02-19

Study on the refractive index of TiO2-SiO2 films
FAN Xian ping ,,HAO Xiao peng ,YAO Hua wen ,WANG Min quan . Study on the refractive index of TiO2-SiO2 films[J]. Journal of Functional Materials, 2002, 33(2): 215-217
Authors:FAN Xian ping     HAO Xiao peng   YAO Hua wen   WANG Min quan
Affiliation:FAN Xian ping 1,2,HAO Xiao peng 1,YAO Hua wen 1,WANG Min quan 1,2
Abstract:The Influence of composition and heat treatment temperature on the refractive index of the TiO 2 SiO 2 films has been investigated. The refractive index of the TiO 2 SiO 2 films increased with the increase of the TiO 2 contents and heat treatment temperature. The refractive index of the TiO 2 SiO 2 films could been changed from 1.5 to 2.4 when TiO 2 contents and heat treatment temperature were changed.
Keywords:sol gel  refractive index  TiO 2 SiO 2 films  
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