| 氟化非晶碳薄膜的低频介电性质分析 |
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| 引用本文： | 叶超,宁兆元,程珊华,辛煜,许圣华. 氟化非晶碳薄膜的低频介电性质分析[J]. 功能材料, 2004, 35(3): 338-340 |
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| 作者姓名： | 叶超 宁兆元 程珊华 辛煜 许圣华 |
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| 作者单位： | 苏州大学,物理科学与技术学院,江苏,苏州,215006;苏州大学,物理科学与技术学院,江苏,苏州,215006;苏州大学,物理科学与技术学院,江苏,苏州,215006;苏州大学,物理科学与技术学院,江苏,苏州,215006;苏州大学,物理科学与技术学院,江苏,苏州,215006 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(10175048)，江苏省高校省级重点实验室开放课题资助项目(KJS01012) |
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| 摘 要： | 研究了电子回旋共振等离子体技术沉积的氟化非晶碳(α-C：F)薄膜的低频(10^2～10^6Hz)介电性质。发现α-C：F薄膜的低频介电色散随源气体CHF3／C6H6的比例、微波入射功率而改变。结合薄膜键结构的红外分析，发现薄膜中C=C相对含量的增大是导致低频介电色散增强的原因，而C—F相对含量的增大则使低频介电色散减弱。
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| 关 键 词： | 氟化非晶碳(a-C:F)薄膜 介电色散 键结构 |
| 文章编号： | 1001-9731(2004)03-0338-03 |
| 修稿时间： | 2003-07-21 |
Dielectric properties of fluorinated amorphous carbon thin films |
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| YE Chao,NING Zhao-yuan,CHENG Shan-hua,XIN Yu,XU Sheng-hua. Dielectric properties of fluorinated amorphous carbon thin films[J]. Journal of Functional Materials, 2004, 35(3): 338-340 |
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| Authors: | YE Chao NING Zhao-yuan CHENG Shan-hua XIN Yu XU Sheng-hua |
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| Keywords: | amorphous fluorinated carbon dielectric dispersion bond configuration |
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