国外厚薄膜电路水平综述——薄膜电路材料(三)

<正> 一、基板材料 薄膜电路早先采用的基板材料有玻璃、氧化硅、涂釉氧化铝、闪光氧化铝、抛光氧化铝、氧化铍和兰宝石等。近几年来,由于薄膜技术的发展以及薄膜混合IC对元件的要求不断提高,新的基板材料也不断出现,如硅片、绝缘金属基板、珐琅基板、聚酰亚胺和聚四氟乙烯塑料基板等等。