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| 微加工和太赫兹真空电子器件技术进展 | |
| 引用本文： | 廖复疆蔡军.微加工和太赫兹真空电子器件技术进展[J].真空电子技术,2017(4):1-5. |
| 作者姓名： | 廖复疆蔡军 |
| 作者单位： | 1.北京真空电子技术研究所100015; |
| 摘 要： | 本文对微加工和太赫兹真空电子器件技术进展进行了评论,讨论了微加工和太赫兹真空电子器件可能的应用,也研究了微型器件、微加工的关键技术和需要进一步研究的理论和技术问题。 |
| 关 键 词： | 微加工 太赫兹 真空电子器件 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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