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| 基于光谱共焦位移传感器的非接触式回转误差测量系统北大核心 | |
| 作者姓名： | 蓝河雷大江钱林弘夏欢孙树磊 |
| 作者单位： | 1.中国工程物理研究院机械制造工艺研究所621900; |
| 基金项目： | 四川省科技支撑计划(2016RZ0047)；中物院科技专项资助(9120602) |
| 摘 要： | 为了实现50 nm左右回转误差测量,设计了一种新型非接触式测量系统,该系统采用光谱共焦位移传感器,通过反向法获得回转轴系径向回转误差、标准球圆度误差。标准球圆度误差测量值与标称值的最大差值为5 nm,表明该测量系统的测量精度能够满足设计要求。 |
| 关 键 词： | 回转误差 光谱共焦位移传感器 反向法 非接触式 超精密回转轴系 |
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