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| 运用工艺筛选技术提高半导体器件的产品质量 | |
| 作者姓名： | 徐立生 |
| 摘 要： | 一、前言半导体器件是现代无线电电子装备中的重要元件。随着空间电子技术、电子计算机、雷达、通讯技术的迅速发展,对于电子元件的质量提出了更高的要求。目前,大型军用电子设备中使用着成千上万的半导体器件,只要其中任何一个器件产生失效,机器就不能正常工作。由于电阻、电容等无源元件的可靠性一般要比半导体器件的可靠性高,因此,半导体器件质量的优劣,直接关系到电子装备的使用可靠性。没有高质量的半导体器件就不可能制造 |
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