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拍频干涉光纤位移传感器
作者姓名:
Tang.
DL 冯克猷
摘 要:
一、前言当今不接触测量传感器在三维测量机,过程测量和机器人等领域要求越来越多。许多不接触系统,如光学,电学,声学和气动学都已试过,其中有些已经在实际中得到应用。一般来说,光学系统胜过其它方法,因为它不受电和磁的噪声影响,并且精度很高。在普通的光
关 键 词:
位移 光纤传感器 表面粗糙度 测量
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