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| 精密气浮直线电机结构动力学建模与分析 | |
| 引用本文： | 陈学东,谢德东,何学明,姜伟,张玲莉. 精密气浮直线电机结构动力学建模与分析[J]. 武汉理工大学学报, 2008, 30(5): 117-121 |
| 作者姓名： | 陈学东 谢德东 何学明 姜伟 张玲莉 |
| 作者单位： | 1. 华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室,武汉,430074;郑州轻工业学院,郑州,450002 2. 华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室,武汉,430074 3. 天津城建学院高职学院,天津,300381 |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) , 国家自然科学基金 , 湖北省杰出人才创新基金 |
| 摘 要： | 高分辨率步进扫描投影光刻机中掩模台长行程直线电机采用气浮轴承支撑实现亚微米级定位的高速高精运动.考虑精密气浮直线电机结构中气固耦合对直线电机运动精度可能产生的影响,用拉格朗日方法建立了精密直线电机12个自由度的动力学模型.仿真计算结果和模态试验结果的主要模态偏差均小于5%,且识别出该系统中气浮轴承在平衡位置附近的线性化刚度.仿真计算和模态试验相结合建立的高精密直线电机动力学模型是正确有效的. |
| 关 键 词： | 精密直线电机 气固耦合 动力学模型 仿真 模态试验 气浮 直线电机 结构动力学 建模与分析 Linear Motor Precision Analysis Dynamic Modeling 高精密 结合 刚度 线性化 平衡位置 系统 识别 偏差 模态试验 结果 仿真计算 动力学模型 |
| 文章编号： | 1671-4431(2008)05-0117-05 |
| 修稿时间： | 2008-01-10 |
Structure Dynamic Modeling and Analysis of Precision Linear Motor with Air-bearings |
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| CHEN Xue-dong,XIE De-dong,HE Xue-ming,JIANG Wei,ZHANG Ling-li. Structure Dynamic Modeling and Analysis of Precision Linear Motor with Air-bearings[J]. Journal of Wuhan University of Technology, 2008, 30(5): 117-121 | |
| Authors: | CHEN Xue-dong XIE De-dong HE Xue-ming JIANG Wei ZHANG Ling-li |
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