| 溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜的研究 |
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| 引用本文： | 阮兴祥,房慧,黄灿胜,张富春,张威虎,杨延宁.溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜的研究[J].电子测试,2017(10). |
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| 作者姓名： | 阮兴祥 房慧 黄灿胜 张富春 张威虎 杨延宁 |
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| 作者单位： | 1. 广西民族师范学院物理与电子工程学院,广西崇左,532200;2. 延安大学物理与电子信息学院,陕西延安, 716000;3. 西安科技大学通信与信息工程学院,陕西西安,710054 |
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| 基金项目： | 广西自然科学基金，2017年度广西高校中青年教师基础能力提升项目，广西民族师范学院校级科研项目，广西民族师范学院中青年骨干教师科研启动项目，广西民族师范学院科研项目(XYYB2011025)*为通信作者 |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法在锌片和硅片表面制备氧化锌薄膜.采用XRD、SEM等分析测试手段对比了不同的配置比和衬底对氧化锌薄膜的相组成和显微形貌的影响.实验结果表明:与Si片相比,Zn片衬底对样品的衍射峰幅度产生一定的影响;所制备出来的样品都在衍射角2θ=34.4°附近出现衍射峰;当Zn2+浓度不同时,得到的ZnO薄膜的形貌不同.
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| 关 键 词： | 薄膜 氧化锌 溶胶-凝胶法 |
Study on Preparation of Zinc Oxide Thin Films by Sol-Gel Method |
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| Ruan Qingxiang,Fang Hui,Huang Cansheng,Zhang Fuchun,Zhang Weihu,Yang Yanning.Study on Preparation of Zinc Oxide Thin Films by Sol-Gel Method[J].Electronic Test,2017(10). |
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| Authors: | Ruan Qingxiang Fang Hui Huang Cansheng Zhang Fuchun Zhang Weihu Yang Yanning |
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| Abstract: | The zinc oxide film was prepared on the surface of zinc sheet and the surface of silicon wafer by sol-gel method. The effects of different configuration ratio and substrate on the composition and microstructure of zinc oxide thin films were compared by XRD and SEM. The experimental results show that the Zn-based substrate has a certain effect on the diffraction peak amplitude of the samples compared with Si films. The prepared samples have diffraction peaks near the diffraction angle of 2θ=34.4°. When the Zn2+ concentration is different, the morphology of ZnO thin films is different. |
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| Keywords: | film zinc oxide sol-gel method |
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