| 低温多晶硅薄膜的制备工艺研究 |
| |
| 引用本文： | 杨定宇,蒋孟衡,杨军.低温多晶硅薄膜的制备工艺研究[J].真空,2008,45(1):41-44. |
| |
| 作者姓名： | 杨定宇 蒋孟衡 杨军 |
| |
| 作者单位： | 成都信息工程学院光电技术系,四川,成都,610225 |
| |
| 基金项目： | 四川省应用基础研究计划 |
| |
| 摘 要： | 低温多晶硅薄膜是制备高性能薄膜晶体管的首选材料，由其制成的薄膜晶体管由于在平板显示器件驱动中所展现的优越性能而受到广泛关注。本文系统介绍了低温多晶硅薄膜的三种制备方法-金属诱导横向晶化法、准分子激光晶化法和电感耦合等离子体化学气相沉积法的原理和研究进展，比较了它们之间各自的优缺点，最后对该领域的发展前景进行了展望。
|
| 关 键 词： | 低温多晶硅薄膜 金属诱导横向晶化 准分子激光晶化 电感耦合等离子体化学气相沉积 低温多晶硅 膜的制备 工艺研究 films processes preparation 前景 发展 比较 研究进展 原理 气相沉积法 化学 等离子体 电感耦合 准分子激光晶化 横向晶化 金属诱导 方法 系统 |
| 文章编号： | 1002-0322（2008）01-0041-04 |
| 收稿时间： | 2007-03-05 |
| 修稿时间： | 2007年3月5日 |
Research on preparation processes of low-temperature poly-silicon films |
| |
| YANG Ding-yu,JIANG Meng-heng,YANG Jun.Research on preparation processes of low-temperature poly-silicon films[J].Vacuum,2008,45(1):41-44. |
| |
| Authors: | YANG Ding-yu JIANG Meng-heng YANG Jun |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | LTPS MILC ELA ICP-CVD |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
