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| Au-Si共晶合金液态金属离子源 | |
| 作者姓名： | 张立宝 葛璜 马祥彬 凌仲珪 |
| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所(张立宝，葛璜，马祥彬)，中国科学院半导体研究所(凌仲珪) |
| 摘 要： | 采用原子比为Si(31％),Au(69％)的金硅合金,研制成了Au-Si共晶合金液态金属寓子源.描述了该离子源的制作方法、I-V特性、不同源电流情况下各种离子流峰值的变化.讨论了质谱分析结果.长时间地测量了离子流各组分Si~+、Si~(++)、Si_2~+、Au~+、Au~(++)的百分比变化情况.源的寿命大于140小时. |
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