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Model of linewidth for laser writing on a photoresist |
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| Authors: | Salgueiro José Ramón Moreno Vicente Liñares Jesús |
| Affiliation: | Departamento de Física Aplicada, Universidade de Santiago de Compostela, Escola Universitaria de Optica, Campus Sur, E-15782 Santiago de Compostela, Spain. fajose@usc.es |
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