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微细电解加工中空电极侧壁绝缘层的制备工艺研究
作者姓名:温杰超  孔全存  刘桂礼  牛献礼  田元波
作者单位:北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院,北京100192;北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院,北京100192;北京信息科技大学精密测量技术与仪器研究所,北京100192
基金项目:北京市自然科学基金;国家自然科学基金;北京市教委科技发展计划面上项目
摘    要:针对孔径100~200μm高深宽比微细孔电解加工中,电极侧壁绝缘层在电解液冲击和气泡撕裂中易损伤/脱落等问题,本文提出一种丙烯酸环氧树脂电泳法的中空电极侧壁绝缘制备工艺。通过优化工艺参数并开展加工实验,比较加工孔尺寸及形貌、加工后电极表面形态,结果表明丙烯酸环氧树脂电泳法制备的中空电极侧壁绝缘层,具有较高的致密性、均匀性、耐久性和一致性。最后,在500μm厚304不锈钢片上加工出入口180.6μm、出口173.8μm、深宽比约为3的微细阵列孔,其锥度比非侧壁绝缘电极加工的孔减少了约70%以上,基本为直孔,可满足实际需求,进而验证了本方法的应用可行性。

关 键 词:微细电解加工  中空电极  侧壁绝缘  丙烯酸环氧树脂  电泳  微细孔
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