| 离子束辅助反应电子束蒸发TiO2薄膜的结构和光学性能 |
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| 引用本文： | 杨陈,樊慧庆,李创,陈晋. 离子束辅助反应电子束蒸发TiO2薄膜的结构和光学性能[J]. 材料科学与工程学报, 2007, 25(1): 14-17 |
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| 作者姓名： | 杨陈 樊慧庆 李创 陈晋 |
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| 作者单位： | 西北工业大学材料学院光电信息功能材料研究所,陕西,西安,710072;西北工业大学材料学院光电信息功能材料研究所,陕西,西安,710072;西北工业大学材料学院光电信息功能材料研究所,陕西,西安,710072;西北工业大学材料学院光电信息功能材料研究所,陕西,西安,710072 |
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| 摘 要： | TiO2具有较高的折射率和介电常数，在光学和电子学方面有着广泛的应用。本论文采用离子束辅助反应电子束真空蒸镀法，以Ti为膜料，纯度为99．99％的O2为反应气体，通过电子束蒸发，在玻璃衬底上反应生成TiO2薄膜。使用XRD、SEM分别对50℃、150℃、300℃三个不同衬底温度下沉积的薄膜及其经过450℃真空退火1h后的结构进行了分析，对薄膜的折射率、透射率进行了测量。结果表明，与传统的电子束蒸发相比，离子束辅助电子束蒸发可以增加成膜原子的能量，使沉积的薄膜结构致密，所制备的薄膜具有较高的折射率，并且薄膜在可见光范围内具有良好的透过性能。
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| 关 键 词： | TiO2薄膜 电子束蒸发 薄膜结构 光学性质 |
| 文章编号： | 1673-2812(2007)01-0014-04 |
| 修稿时间： | 2006-05-08 |
Structure and Optical Properties of TiO2 Thin Film Deposited by Ion Beam Assistant Reactive Electron Beam Evaporation |
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| YANG Chen,FAN Hui-qing,LI Chuang,CHEN Jin. Structure and Optical Properties of TiO2 Thin Film Deposited by Ion Beam Assistant Reactive Electron Beam Evaporation[J]. Journal of Materials Science and Engineering, 2007, 25(1): 14-17 |
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| Authors: | YANG Chen FAN Hui-qing LI Chuang CHEN Jin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Ti TiO_2 thin film ion beam assistant electron beam evaporation film structure optical property |
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