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钛铝系金属间化合物薄膜的制备和摩擦性能
引用本文:田明霞,李长生,张晔,金岚,孙建. 钛铝系金属间化合物薄膜的制备和摩擦性能[J]. 机械工程材料, 2008, 32(5)
作者姓名:田明霞  李长生  张晔  金岚  孙建
作者单位:江苏大学材料科学与工程学院,江苏镇江,212013;江苏大学材料科学与工程学院,江苏镇江,212013;江苏大学材料科学与工程学院,江苏镇江,212013;江苏大学材料科学与工程学院,江苏镇江,212013;江苏大学材料科学与工程学院,江苏镇江,212013
摘    要:应用射频磁控溅射方法沉积钛铝系金属间化合物薄膜;用X射线衍射仪(XRD)、配有能谱仪(EDS)的扫描电子显微镜(SEM)和UMT-2型摩擦试验机对薄膜的相组成、形貌和摩擦性能进行了分析.结果表明:该薄膜是由TiAl、TiAl3、Al2O3和TiO2相组成;薄膜表面晶粒均匀细小;对于不同钛、铝含量的薄膜,当铝含量(原子分数)为45%时具有最低的摩擦因数;摩擦因数随着载荷、转速和摩擦时间的增加而减小.

关 键 词:射频磁控溅射  钛铝系金属间化合物  薄膜  摩擦性能

Tribological Properties and Preparation of Ti-Al Intermetallic Film
TIAN Ming-xia,LI Chang-sheng,ZHANG Ye,JIN Lan,SUN Jian. Tribological Properties and Preparation of Ti-Al Intermetallic Film[J]. Materials For Mechanical Engineering, 2008, 32(5)
Authors:TIAN Ming-xia  LI Chang-sheng  ZHANG Ye  JIN Lan  SUN Jian
Abstract:
Keywords:
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