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| 以四氯化碳代替三氯乙烯进行铬版等刻技术研究 | |
| 作者姓名： | 赵丽新 过建群 |
| 作者单位： | 中国华晶电子集团公司掩模工厂!无锡，214061 |
| 摘 要： | 一、前言十多年前，我们从美国LFE公司引进了一台铬版等离子刻蚀机，它采用的主要刻蚀气体是三氯乙烯。作为设备的一个附件，三氯乙烯罐装气体没有备品。若与国外联系采购，周期长且成本高，因此只能在国内想办法。经多方查找，在国内没能找到三氯乙烯气体源。看来，继续使用三 |
| 关 键 词： | 等离子刻蚀 四氯化碳 三氯乙烯 络版 |
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