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| 硼、砷双注入载流子浓度分布的测量及计算机模拟 | |
| 作者姓名： | 马谊 李国辉 张通和 黄敞 |
| 作者单位： | 北京师范大学低能核物理研究所(马谊，李国辉，张通和)，骊山微电子公司(黄敞) |
| 摘 要： | 本文研究了双极型器件中硼、砷双注入载流子浓度分布的规律,考察了双注入情况下两者的相互作用。为了模拟基区载流子的浓度分布,用一个指数衰变场来模拟基区载流子在E-B结处的下陷,用有效扩散系数模拟尾部的增强扩散效应.并调试了计算双注入的载流子浓度分布的程序. |
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