| 微图形定向碳纳米管场发射阵列冷阴极的研究 |
| |
| 引用本文： | 陈长青,丁明清,李兴辉,白国栋,张甫权,冯进军,邵文生.微图形定向碳纳米管场发射阵列冷阴极的研究[J].真空科学与技术学报,2007,27(5):363-366. |
| |
| 作者姓名： | 陈长青 丁明清 李兴辉 白国栋 张甫权 冯进军 邵文生 |
| |
| 作者单位： | 北京真空电子技术研究所,大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室,北京749信箱41分箱,北京,100016 |
| |
| 基金项目： | 大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室的资助 |
| |
| 摘 要： | 本文介绍了一种微图形化碳纳米管场发射阵列冷阴极,每个图形的直径仅为1μm,构成一个发射单元。制作工艺如下：首先在硅（100）基片上沉积氮化钛缓冲层,然后采用曝光工艺获得直径为1μm的胶孔阵列,沉积催化剂铁,最后采用直流等离子体增强化学气相沉积（DC-PECVD）生长直立的碳纳米管。并对17500个发射单元的阵列阴极进行了表面形貌表征及场发射特性测试。结果表明,碳纳米管阵列阴极的一致性较好;最低开启电场为1 V/μm;电场为17 V/μm时,测得的电流密度已达到90 mA/cm^2;发射电流为550μA时,在2.5 h内的波动小于5.6%。
|
| 关 键 词： | 微图形 定向碳纳米管 场发射阵列冷阴极 直流等离子体增强化学气相沉积 |
| 文章编号： | 1672-7126（2007）05-363-04 |
| 修稿时间： | 2007-01-18 |
Development of Micro-Patterned Well-Aligned Carbon Nanotube Field Emission Arrays |
| |
| Chen Changqing,Ding Mingqing,Li Xinghui,Bai Guodong,Zhang Fuquan,Feng Jinjun,Shao Wensheng.Development of Micro-Patterned Well-Aligned Carbon Nanotube Field Emission Arrays[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2007,27(5):363-366. |
| |
| Authors: | Chen Changqing Ding Mingqing Li Xinghui Bai Guodong Zhang Fuquan Feng Jinjun Shao Wensheng |
| |
| Affiliation: | Vacmun Electronics National laboratory, Beijing Vacuum Electronics Research Institute, P. O. Box 749, Beijing 100016, China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Micro-patterned Well-aligned carbon-nanotube Field emission arrays cathode Direct current plasma enhanced chemical vapour deposition |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
