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集成电路芯片粘接质量的快速热筛选
作者姓名:贾松良 朱浩颖
作者单位:清华大学微电子所
摘    要:介绍用集成电路瞬态热阻测试仪对集成电路进行快速热筛选的方法,该方法可快速剔除粘接质量不良、热性能不好及热阻过大的芯片。对提高产品可靠性和半导体器件芯片粘接质量,保证新品热性能等都是十分有用的。

关 键 词:集成电路 芯片 粘接质量 快速热筛选
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