“新基建”的三大方面、七大领域 |
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引用本文: | 程星华, 白帆, 赵馨飞, 邱雪皎. 3D NAND存储芯片生产线CMP工艺及设备配置研究[J]. 真空科学与技术学报, 2023, 43(8): 724-730. DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202212013 |
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作者姓名: | 程星华 白帆 赵馨飞 邱雪皎 |
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作者单位: | 中国电子工程设计院有限公司 北京 100142 |
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摘 要: | 随着5G、物联网、自动驾驶等新型产业的兴起,人类社会将产生海量的信息数据,因而极大促进了存储芯片产业的快速发展。3D NAND作为存储芯片的主流技术,器件结构具有多层垂直堆叠、高深宽比等特点。在其不同技术节点的产品生产加工过程中,设备选型与数量配置对芯片生产线的规划设计具有重要影响。文章从3D NAND中的X-tacking技术出发,分析了化学机械研磨(CMP)工艺及设备配置的相关问题:通过对CMP工艺不同制程特点的分析,确定了其对不同设备的选型配置问题;研究了3D NAND不同技术节点下CMP的制程要求,对比分析得出了其相应的设备数量配置关系。研究对3D NAND项目的设备选型和数量配置提供理论依据和指导,对项目前期设计组线提供支撑。
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关 键 词: | 半导体存储 化学机械研磨 技术节点 设备选型 数量配置 |
收稿时间: | 2022-12-11 |
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