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| 硼浓度对沉积在刀具上的金刚石膜表面的影响 | |
| 引用本文： | 王传新,汪建华,满卫东,马志斌,王升高,伍新明,屈青. 硼浓度对沉积在刀具上的金刚石膜表面的影响[J]. 武汉工程大学学报, 2004, 26(3) |
| 作者姓名： | 王传新 汪建华 满卫东 马志斌 王升高 伍新明 屈青 |
| 摘 要： | 在热丝CVD装置中,以氢气、丙酮、硼酸三甲脂为原料,在YG6上制备了含硼金刚石薄膜.研究丙酮中硼含量对薄膜表面晶形及晶粒度的影响.结果表明,薄膜中渗入适量的硼不改变薄膜表面晶形,细化晶粒.有利于薄膜附着力的提高;而过高的硼含量恶化金刚石薄膜质量,降低薄膜附着力. |
| 关 键 词： | 热丝CVD YG6刀具 金刚石薄膜 渗硼 |
Effect of boron concentration on HFCVD diamond films grown on cemented carbide inserts |
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