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低温ITO薄膜制备及其在TOLED中的应用
引用本文:林慧,蒋亚东,于军胜,李军建,王军,邓建芳. 低温ITO薄膜制备及其在TOLED中的应用[J]. 光电子.激光, 2007, 18(9): 1068-1070
作者姓名:林慧  蒋亚东  于军胜  李军建  王军  邓建芳
作者单位:电子科技大学光电信息学院,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,四川,610054;电子科技大学光电信息学院,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,四川,610054;电子科技大学光电信息学院,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,四川,610054;电子科技大学光电信息学院,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,四川,610054;电子科技大学光电信息学院,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,四川,610054;电子科技大学光电信息学院,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,四川,610054
基金项目:感谢电子科技大学中青年学术带头人项目
摘    要:通过在直流磁控溅射过程中加入微量水蒸气的方法,在低于60℃温度条件下制备了具有优良光电性能的透明导电ITO薄膜,并探讨了溅射功率、基板温度对ITO薄膜光电性能的影响.利用制得的ITO薄膜作电极,制作了结构为ITO/CuPc/NPB/Alq3/BCP/Mg:Ag/ITO的透明有机电致发光器件(TOLEDs),结果表明,器件的平均透过率达到45%;在驱动电压15 V的条件下,发光亮度达到了3000 cd/m2.

关 键 词:ITO薄膜  直流磁控溅射  透明有机电致发光器件(TOLEDs)  光电性能
文章编号:1005-0086(2007)09-1068-03
修稿时间:2006-07-28

Fabrication of Low-temperature ITO Thin Film and Its Application in TOLEDs
LIN Hui,JIANG Ya-dong,YU Jun-sheng,LI Jun-jian,WANG Jun,DENG Jian-fang. Fabrication of Low-temperature ITO Thin Film and Its Application in TOLEDs[J]. Journal of Optoelectronics·laser, 2007, 18(9): 1068-1070
Authors:LIN Hui  JIANG Ya-dong  YU Jun-sheng  LI Jun-jian  WANG Jun  DENG Jian-fang
Affiliation:LIN Hui,JIANG Ya-dong,YU Jun-sheng,LI Jun-jian,WANG Jun,DENG Jian-fang(School of Optoelectronic Information,State Key Laboratory of Thin Solid Films , Integrated Devices,University of Electronic Science , Technology of China (Chengdu 610054,China)
Abstract:
Keywords:indium-tin oxide(ITO) thin films  DC magnetron sputtering  transparent organic light-emitting diods(TOLEDs)  optical and electrical performance  
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