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| 用涡轮分子泵系统获得超高真空 | |
| 引用本文： | 壁谷善三郎 ,赤石宪也 ,宫原昭 ,王泉清.用涡轮分子泵系统获得超高真空[J].真空,1977(5). |
| 作者姓名： | 壁谷善三郎 赤石宪也 宫原昭 王泉清 |
| 摘 要： | 用装有阶梯式(conflat)密封法兰的涡轮分子泵,设计了一个超高真空系统。这个系统,经200℃、20小时烘烤后,极限真空度是1.4×10-9乇。紧接着烘烤操作之后,若使钛升华泵工作,则系统的压强可降到4.5 ×10-10乇。同时也进行了系统内的剩余气体分析。本文还讨论了获得更低压强的方法。 一、前言 涡轮分子泵最近多用于等离子核聚变试验装置的抽气系统。涡轮分子泵的特征是可以直接与油旋转泵配合,从大气开始对系统进行动态抽气,很容易获得10-8乇左右的真空。此外还有不需过于考虑防止油蒸气从反压侧向高真空侧逆流的优点。但是为要获得洁净真空,就… |
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