| VO2/Al2O3复合膜系制备及其相变特性 |
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| 引用本文： | 路远,凌永顺,王辉,乔亚. VO2/Al2O3复合膜系制备及其相变特性[J]. 半导体光电, 2015, 36(3): 421-424 |
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| 作者姓名： | 路远 凌永顺 王辉 乔亚 |
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| 作者单位： | 1. 电子工程学院脉冲功率激光技术国家重点实验室,合肥230037;电子工程学院安徽省红外与低温等离子体重点实验室,合肥230037;2. 中国空空导弹研究院,河南洛阳,471009 |
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| 摘 要： | 钒的氧化物具有对温度敏感的半导体-金属可逆相变特性.在多种钒氧化合物中,VO2的相变温度点约为68℃,适用于很多应用领域.VO2长期暴露在空气中时,会被氧化.研究了通过制备VO2/Al2O3复合膜系来保持氧化钒薄膜的稳定性的方法.采用TFCalc薄膜设计软件,设计了VO2/Al2O3复合膜系.依据材料的折射率和消光系数,优化了膜系各膜层的厚度,分析了复合膜系的相变特性.采用磁控溅射方式制备了氧化钒薄膜,再通过氧氩混合气氛热处理得到VO2占主要成分的氧化钒薄膜.在氧化钒薄膜上采用射频磁控溅射方法封装了120 nm厚的Al2O3膜.利用分光光度计测量分析了膜系的相变特性,Al2O3膜对VO2膜的相变性能影响很小.Al2O3膜适于VO2薄膜的封装.
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| 关 键 词： | Al2O3薄膜 VO2薄膜 封装 相变 |
| 收稿时间： | 2014-08-12 |
Fabrication of Al2O3 Multi-film System and Its Phase Transition Characteristics |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Al2O3 film VO2 film package phase transition |
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