| Power MEMS研究现状及展望 |
| |
| 引用本文： | 甘霖,李伟,杨灿军,刘宜胜,宋瑞银,黎嘉杰. Power MEMS研究现状及展望[J]. 机床与液压, 2004, 0(9): 5-7 |
| |
| 作者姓名： | 甘霖 李伟 杨灿军 刘宜胜 宋瑞银 黎嘉杰 |
| |
| 作者单位： | 浙江大学流体传动及控制国家重点实验室,杭州,310027;浙江大学流体传动及控制国家重点实验室,杭州,310027;浙江大学流体传动及控制国家重点实验室,杭州,310027;浙江大学流体传动及控制国家重点实验室,杭州,310027;浙江大学流体传动及控制国家重点实验室,杭州,310027;浙江大学流体传动及控制国家重点实验室,杭州,310027 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50275135);国家863计划资助项目(2002AA404040) |
| |
| 摘 要： | 归纳了Power MEMS研究的现状，分析了该领域尚待解决的关键问题，并对其今后的发展前景给予展望。
|
| 关 键 词： | Power MEMS MEMS 电源 |
| 文章编号： | 1001-3881(2004)9-005-2 |
| 修稿时间： | 2003-08-28 |
A Review and Prospect of Power MEMS |
| |
| GAN Lin,LI Wei,YANG Can-jun,LIU Yi-sheng,SONG Rui-yin,LI Jia-jie. A Review and Prospect of Power MEMS[J]. Machine Tool & Hydraulics, 2004, 0(9): 5-7 |
| |
| Authors: | GAN Lin LI Wei YANG Can-jun LIU Yi-sheng SONG Rui-yin LI Jia-jie |
| |
| Abstract: | The research status of micro power source technology was introduced,the key technology of power MEMS was analyzed,and the future development was discussed. |
| |
| Keywords: | Power MEMS MEMS Power source |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
