| 矢量扫描微立体光刻技术研究进展 |
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| 引用本文： | 于成龙,王秀峰,江红涛,单联娟.矢量扫描微立体光刻技术研究进展[J].矿山机械,2006,34(4):122-124. |
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| 作者姓名： | 于成龙 王秀峰 江红涛 单联娟 |
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| 作者单位： | 陕西科技大学材料科学与工程学院,陕西,咸阳,712081;陕西科技大学材料科学与工程学院,陕西,咸阳,712081;陕西科技大学材料科学与工程学院,陕西,咸阳,712081;陕西科技大学材料科学与工程学院,陕西,咸阳,712081 |
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| 基金项目： | 陕西省自然科学基金资助项目（2000C35）. |
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| 摘 要： | 微应体光刻（Microstereolifhography，μSL）技，术属于微工程学（Microengineering）与快速原型制造技术（Rapid rototyping echnology）的交叉技术。BSL通过光引发液态树脂固化，逐层制造并经过多层叠加来完成小尺寸、高分辨率的气维物体制造。经过十几年的发展，该技术已逐步应用于需要制造微型部件的工业技术领域，特别是微电子机械系统（Micro Electro Mechanical Systems,MEMS）领域。
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| 关 键 词： | 矢量扫描 微立体光刻技术 微制造 快速原型制造 |
| 文章编号： | 1001-3954（2006）04-0122-124 |
| 收稿时间： | 2005-10-12 |
| 修稿时间： | 2005-10-122005-12-06 |
Study Progress and Application of the Microstereo Photoetching Technique with Vector Scan |
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| YU ChengLong et al..Study Progress and Application of the Microstereo Photoetching Technique with Vector Scan[J].Mining & Processing Equipment,2006,34(4):122-124. |
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| Authors: | YU ChengLong |
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| Affiliation: | YU ChengLong et al. |
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| Abstract: | The paper narrates the basic principle of the surface constrained technique and the free surface technique, which consist in microstereo photoetching technique with vector scan. It analyses the resolvent for increasing resolution and the study trend, and briefly introduces the application of the technique in prototype manufacture, component of microsystem and microfluidic device. |
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| Keywords: | Vector scan Microstereo photoetching technique Micromanufacture Rapid prototype manufacture |
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