|
|||||
|
|
| 用带冷阱的油封机械泵启动溅射离子泵 | |
| 作者姓名： | 刘玉魁 韩晓文 |
| 作者单位： | 兰州物理研究所，兰州物理研究所 |
| 摘 要： | 溅射离子泵房动时,需要预真空,其值因泵而异。对于准无油溅射离子泵系统及有液氮来源的部门来说,使用油封机械泵加液氮冷阱来启动溅射离子泵是比较理想的。这种方法不仅可以使返油率降低99％.而且运转方便.使用过程中没有粉尘,不需要前处理工序。 |
| 关 键 词： | 离子泵 回转泵 真空系统 真空度测量 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |